四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、探針測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由四探針測試儀主機直接顯示，亦可與計算機相連接通過四探針軟件測試系統控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析。
儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
設備保養：
經常保持設備和計算機的清潔、衛生。
預防高溫、過濕、灰塵、腐蝕性介質、水等浸入機器或計算機內部。
定期檢查，保持零件、部件的完整性。
注意事項：
1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量
3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象
4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
